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三氯氫硅

產品介紹

產品主要作用：用于半導體器件制備工藝中外延、化學氣相淀積工序

產品中文名：三氯氫硅

產品英文名：Trichlorosilane

化學式：SiHCl3

CAS號：10025-78-2

UN 號：1295

純度：99.999%

閥門型號：1/4VCR/1/2VCR


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