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四氯化硅

產品介紹

產品主要作用：用于半導體器件制備工藝中外延、化學氣相淀積工序

產品中文名：四氯化硅

產品英文名：Silicon Tetrachloride

化學式：SiCl4

CAS號：10026-04-7

UN 號：1818

純度：99.9999%

閥門型號：1/4VCR/1/2VCR


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